國產激光干涉儀（SJ6000）的簡單介紹

國產激光干涉儀（SJ6000）的詳細信息

激光具有高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點，激光干涉儀，則是以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量。激光干涉儀是激光在計量領域中最成功的應用之一。

國產激光干涉儀（SJ6000）采用美國進口高穩定氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術，實現快速(約6分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光輸出；采用高精度環境補償模塊、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術，結合線性鏡組能實現0.5ppm精度的線性測量；結合相應鏡組還能實現角度、直線度（平行度）、平面度、垂直度、回轉軸等參數的測量，并進行動態分析。

國產激光干涉儀（SJ6000）工作原理：
激光干涉儀發射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會有一個探測器監控兩道光束之間的干涉（見圖）。若光程差沒有變化時，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。若光程差有變化時，探測器會在每一次光程變化時，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。

國產激光干涉儀（SJ6000）技術參數：

系統性能

² 測量方式：單頻

² 穩頻精度：0.05ppm

² 動態采集頻率：50 kHz

² 預熱時間：約6分鐘

² 工作溫度范圍：(0~40)℃

² 環境溫度范圍：(0~40)℃，環境濕度：(0~95)%RH

² 存儲溫度范圍：(-20~70)℃

環境補償示值誤差

² 空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

² 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

² 空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95) %RH

² 大氣壓力傳感器：±0.1kPa

線性測量

² 測量距離：(0~40)m

² 測量精度：0.5ppm (0~40)℃

² 測量分辨力：1nm

² 測量最大速度：4m/s

角度測量

² 軸向量程：(0~15)m

² 測量范圍：±10°

² 測量精度：±(0.04%R)″ (R為顯示值，單位：″)

² 測量分辨力：0.1″

平面度測量

² 軸向量程：(0~15)m

² 測量范圍：±1.5 mm

² 測量精度：±(0.6%R+0.02 M²) μm (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)

² 基板尺寸：180mm可調，360mm可調

測量分辨力：0.1μm

直線度測量

² 軸向量程：(0.1~4.0)m

² 測量范圍：±3mm

² 測量精度：±(0.5+0.1%R +0.1M²) μm (R為顯示值，單位：μm；M為測量距離，單位：m)

² 測量分辨力：0.01μm

垂直度測量

² 軸向量程：(0.1~3.0)m

測量范圍：±3mm

² 測量精度：±(0.5+0.5%R+0.2M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m)

² 測量分辨力：0.01μm/m

回轉軸精度測量

² 角度測量范圍：(0~360)°

² 測量精度：±1″

最高轉速：10rpm

鋰電池供電，藍牙傳輸數據。

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